최대 4000watts의 열부하 제거능력 (챔버 내 고온코팅 기능 50°C~250°C 이상)
최대 200,000l/sec의 속도
수증기를 초저온으로 chamber 내부 cold trap에 응축
진공 챔버 내부 수증기 99% 이상 제거
유확산펌프 오일 역류 방지
진공 펌핑 시간의 25~95% 감소를 통한 생산량 20%~ 100% 증가
코팅 시 접착력 및 재현성 증대로 균일한 양질의 제품 양산
혁신적인 압축기 전기 용량 저소음+저전력
클린룸 설계시 비용점갈
적은 칠러 용량으로 비용절감