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VPLUS
Cryogenic water vapor vacuum pump
글로벌 폴리콜드 진공 펌프 (전)원씨테크
VPLUS 제품은 -130도 이하의 초저온 냉각 시스템으로 주로 코팅과 증착 산업 분야에서 사용됩니다.
이 시스템은 진공 상태에서 발생하는 수증기나 기타 가스를 빠르게 응축시켜 제거함으로써,
증착 공정의 효율성을 높이고 제품 품질을 향상시킵니다.
VPLUS 제품은 -130도 이하의 초저온 냉각 시스템으로,
주로 코팅 증착 산업 분야에서 사용됩니다.
이 시스템은 진공 상태에서 발생하는 수증기나 기타 가스를
빠르게 응축시켜 제거함으로써,
제조 공정의 효율성을 높이고 제품 품질을 향상시킵니다.
PVD 증착의 보이지 않는 적
"H₂O"
99% 챔버 내부 수분 제거로 밀착력 저하, 산화 결함, 균일도 문제를 해결하세요.
최대 4000watts의 열부하 제거능력
최대 200,000L/sec의 속도
진공 펌핑 시간의 25~95% 감소를 통한 생산량 20%~ 100% 증가
코팅 시 접착력과 재현성을 높여 균일한 양산성 구현
적은 칠러 용량으로 비용절감
"고속 초저온 고진공"
생산성을 극대화하는 진공 솔루션
-100℃ within 02min
-130℃ within 10min
+10℃ within 02min
on condition
VP-3000 - insulated copper-trap 20m without vacuum - chiller temp 18℃
"1600파이 증착기, Diffusion pump를 위한
최적화 진공솔루션"
Dimension
Weight
Discharge copper tube
Return copper tube
Water in/out socket
Voltage
Coolant water temp
Digital control panel
Remote control adapter
Compressor capacity
Heat removal
Pumping speed
Defrosting Temp
Cooling Temp
Required Chiller capacity
810mm * 660mm* 1900mm
500kg
1/2
5/8
19
3PH 50/60hz 380V/220V
18 ~ 22℃
7.5kW / mid temp
2,000W
100,000 l/sec
60 ~ 90℃
-120 ~ -145℃
2 ~ 3 RT
"20% 가량 줄어든 무게와 크기
시리즈를 통틀어 더 빠르고 더 낮은 최저 온도"
810mm * 660mm* 1600mm
450kg
4,000W
200,000 l/sec
-130 ~ -145℃
Performance
1300 ~ 2000∅ PVD chamber
2000∅ ~ PVD chamber
Roll-to-roll sputter chamber
Diffusion pump
증착 공정의 환경 및 운영 조건에 따라 필요한 기기의 수와 사양 요구사항이 달라질 수 있습니다
"다양한 증착 제조 환경에 적용"
CAMERA LENS
SEMICONDUCTOR
DISPLAY
FILM
METAL PLATE
VEHICLE HEADLIGHT
이외에도 다양한 산업 분야의 코팅, 증착 산업에 적용되고 있습니다.
since 1994
지속적인 R&D
전세계 판매로 검증된 기술력
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