VPLUS1000
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VPLUS2000
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VPLUS3000
VPLUS3000

VPLUS LINE-UP cryogenic water vapor vacuum pump

VPLUS는 -140도 이하의 초저온 냉각 시스템으로 코팅과 증착 산업 분야에서 사용됩니다.

이 시스템은 진공을 형성하는 단계에서 발생하는 수증기와 가스를 빠르게 응축/제거하여

목표 진공 도달 시간을 단축할 수 있으며, 증착 공정의 생산성 향상과 제품의 품질 안정성을 손쉽게 확보합니다


ABOUT VPLUS LINEUP

PUMPING SPEED

VPLUS1000
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VPLUS1000
VPLUS1000
VPLUS3000
VPLUS3000

최저도달온도

-150℃

콤프레서

7.5KW

열부하제거

2,000W

펌핑속도

100,000L/sec

PVD 증착의 보이지 않는 적


 "H₂O"

99%
"챔버 내부 수분 제거로 밀착력 저하, 산화 결함, 균일도 문제를 해결하세요."

최대 4000watts의 열부하 제거능력

최대 200,000L/sec의 속도 

진공 펌핑 시간의 25~95% 감소를 통한 생산량 20%~ 100% 증가 

코팅 시 접착력과 재현성을 높여 균일한 양산성 구현

적은 칠러 용량으로 비용절감

" 높은 기술력을 통한 짧은 시간 내에  -140℃ "

0℃
[00:00:00]

급속 재냉각 기술을 통해

짧은 사이클 간에도 항상 최적의 품질을 유지할 수 있습니다.


-100℃  within  2min

-130℃  within  10min

+10℃  within  2min

MAX TEMP -140 ~ -150℃


on condition  

VP-3000 - insulated copper-trap 20m without vacuum - chiller temp 18℃


APPLICATIONS


1300 ~ 2000∅ PVD chamber

2000∅ ~ PVD chamber

Roll-to-roll sputter chamber

Diffusion pump

증착 공정의 환경 및 운영 조건에 따라 필요한 기기의 수와 사양 요구사항이 달라질 수 있습니다


"다양한 증착 제조 환경에 적용" 


CAMERA LENS

SEMICONDUCTOR

DISPLAY

FILM

METAL PLATE 

VEHICLE HEADLIGHT


이외에도 다양한 산업 분야의 코팅, 증착 산업에 운용


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