VPLUS cryogenic water vapor vacuum pump


VPLUS 제품은 -130도 이하의 초저온 냉각 시스템으로 코팅과 증착 산업 분야에서 사용합니다.


이 시스템은 진공을 형성하는 단계에서 발생하는 수증기 및 기타 가스를 빠르게 응축시켜 제거하며,


목표 진공 도달 시간을 단축하여 증착 공정의 생산성을 높이고, 제품의 품질 안정성을 확보합니다.





글로벌 폴리콜드 진공 펌프 (전)원씨테크

PINERA


PINERA

VPLUS

Cryogenic water vapor vacuum pump


VPLUS 제품은 -130도 이하의 초저온 냉각 시스템으로, 

주로 코팅 증착 산업 분야에서 사용됩니다. 

이 시스템은 진공 상태에서 발생하는 수증기나 기타 가스를 

빠르게 응축시켜 제거함으로써, 

제조 공정의 효율성을 높이고 제품 품질을 향상시킵니다.



PVD 증착의 보이지 않는 적


 "H₂O"

99%
"챔버 내부 수분 제거로 밀착력 저하, 산화 결함, 균일도 문제를 해결하세요."

최대 4000watts의 열부하 제거능력

최대 200,000L/sec의 속도 

진공 펌핑 시간의 25~95% 감소를 통한 생산량 20%~ 100% 증가 

코팅 시 접착력과 재현성을 높여 균일한 양산성 구현

적은 칠러 용량으로 비용절감

"고속 초저온 고진공"

0℃
[00:00:00]

급속 재냉각 기술을 통해

짧은 사이클 간에도 항상 최적의 품질을 유지할 수 있습니다.


-100℃  within  2min

-130℃  within  10min

+10℃  within  2min


on condition  

VP-3000 - insulated copper-trap 20m without vacuum - chiller temp 18℃


PRODUCT LINEUP



VPLUS1000


"1600파이 증착기, Diffusion pump를 위한 

최적화 진공솔루션"

Dimension 

Weight 

Discharge copper tube 

Return copper tube 

Water in/out socket

Voltage

Coolant water temp


Digital control panel 

Remote control adapter


Compressor capacity

Heat removal 

Pumping speed

Defrosting Temp

Cooling Temp

Required Chiller capacity

810mm * 660mm* 1900mm  

500kg

1/2

5/8

19

3PH 50/60hz 380V/220V

18 ~ 22℃





7.5kW / mid temp

2,000W

100,000 l/sec

60 ~ 90℃

-120 ~ -145℃

2 ~ 3 RT


VPLUS3000


"20% 더 작은 크기 

시리즈를 통틀어 더 빠르고 더 낮은 최저 온도"

Dimension 

Weight 

Discharge copper tube 

Return copper tube 

Water in/out socket

Voltage

Coolant water temp


Digital control panel 

Remote control adapter


Compressor capacity

Heat removal 

Pumping speed

Defrosting Temp

Cooling Temp

Required Chiller capacity

810mm * 660mm* 1600mm  

450kg

1/2

5/8

19

3PH 50/60hz 380V/220V

18 ~ 22℃





7.5kW / mid temp

4,000W

200,000 l/sec

60 ~ 90℃

-130 ~ -145℃

2 ~ 3 RT

PERFORMANCE

브로셔를 통해 제품에 대한 자세한 내용을 확인하실 수 있습니다.

APPLICATIONS


1300 ~ 2000∅ PVD chamber

2000∅ ~ PVD chamber

Roll-to-roll sputter chamber

Diffusion pump

증착 공정의 환경 및 운영 조건에 따라 필요한 기기의 수와 사양 요구사항이 달라질 수 있습니다


"다양한 증착 제조 환경에 적용" 


CAMERA LENS

SEMICONDUCTOR

DISPLAY

FILM

METAL PLATE 

VEHICLE HEADLIGHT


이외에도 다양한 산업 분야의 코팅, 증착 산업에 운용



since 1994



지속적인 R&D 


전세계 판매로 검증된 기술력


94.02 한국초저온 사업개시 
94.03 Cryogenics Cryo cooler Pump 개발 착수 
95.07 Ultra-Low Temp Freezer -150°C  개발 완료 
95.12 산업용 Cryogenics Cryo cooler pump의 Defrosting Ver. 개발 완료 
96.02 Cryogenics Cryo cooler pump 생산 
97.04 해외 수출 개시 
99.11 기술 표준원 Ultra Low Temperature Freezers -150°C  냉동고형식승인 획득 
03.12 (주)원씨테크로 법인 전환 설립 
22.01 (주)파이네라로 법인 전환


"Widely deployed over 1000 units in China, 800 in Vietnam" 


 중국 , 베트남 1800대 이상 수출 


 and Other Countries We've Shipped To 

 UAE 

 Turkey 

 Taiwan 

 India 

 Philippines 

전 세계 다양한 산업 현장에서 가동 중인 VPLUS


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