PINERA
CRYOPUMP
VPLUS1000
VPLUS3000
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VPLUS 제품은 -140도 이하의 초저온 냉각 시스템으로
코팅과 증착 산업 분야에서 사용합니다
이 시스템은 진공을 형성하는 단계에서 발생하는
수증기 및 기타 가스를 빠르게 응축시켜 제거하며,
목표 진공 도달 시간을 단축하여 증착 공정의 생산성을 높이고,
제품의 품질 안정성을 확보합니다
글로벌 폴리콜드 진공 펌프 (전)원씨테크
PVD 증착의 보이지 않는 적
"H₂O"
99%"챔버 내부 수분 제거로 밀착력 저하, 산화 결함, 균일도 문제를 해결하세요."
최대 4000watts의 열부하 제거능력
최대 200,000L/sec의 속도
진공 펌핑 시간의 25~95% 감소를 통한 생산량 20%~ 100% 증가
코팅 시 접착력과 재현성을 높여 균일한 양산성 구현
적은 칠러 용량으로 비용절감
" 높은 기술력을 통한 짧은 시간 내에 -140℃ "
급속 재냉각 기술을 통해
짧은 사이클 간에도 항상 최적의 품질을 유지할 수 있습니다.
-100℃ within 2min
-130℃ within 10min
+10℃ within 2min
MAX TEMP -140 ~ -150℃
on condition
VP-3000 - insulated copper-trap 20m without vacuum - chiller temp 18℃
PRODUCT LINEUP
"1600파이 증착기, Diffusion pump를 위한
최적화 진공솔루션"
Dimension
Weight
Discharge copper tube
Return copper tube
Water in/out socket
Voltage
Coolant water temp
Digital control panel
Remote control adapter
Compressor capacity
Heat removal
Pumping speed
Defrosting Temp
Cooling Temp
Required Chiller capacity
810mm * 660mm* 1900mm
500kg
1/2
5/8
19
3PH 50/60hz 380V/220V
18 ~ 22℃
7.5kW / mid temp
2,000W
100,000 l/sec
60 ~ 90℃
-120 ~ -145℃
2 ~ 3 RT
"20% 더 작은 크기
시리즈를 통틀어 더 빠르고 더 낮은 최저 온도"
810mm * 660mm* 1600mm
450kg
4,000W
200,000 l/sec
-130 ~ -145℃
APPLICATIONS
1300 ~ 2000∅ PVD chamber
2000∅ ~ PVD chamber
Roll-to-roll sputter chamber
Diffusion pump
증착 공정의 환경 및 운영 조건에 따라 필요한 기기의 수와 사양 요구사항이 달라질 수 있습니다
"다양한 증착 제조 환경에 적용"
CAMERA LENS
SEMICONDUCTOR
DISPLAY
FILM
METAL PLATE
VEHICLE HEADLIGHT
이외에도 다양한 산업 분야의 코팅, 증착 산업에 운용
"Widely deployed over 1000 units in China, 800 in Vietnam"
중국 , 베트남 1800대 이상 수출
and Other Countries We've Shipped To
UAE
Turkey
Taiwan
India
Philippines
전 세계 다양한 산업 현장에서 가동 중인 VPLUS
since 1994
지속적인 R&D
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타사 브랜드 폴리콜드 수리
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